? 停电事故
一.供电公司计划停电(检修设施,计划供电等)
针对以上情况,需要注意以下几个方面: 1、供电公司必须提前二天通知公司配电负责人, 确定停电,送电的时间及停电的线路等;公司配电 负责人通过行政办向相关部门发文通知; 2、单晶车间根据单晶炉的每炉拉晶时间,决定 各炉的停炉时间,在停电之前5小时必须停炉冷却, 防止停电时炉体过热。 3、停电时,相关部门安排人员仔细检查电器, 供水系统是否正常,单晶车间对单晶炉进行维修保 养。
二.突发性停电
在正常生产过程中出现突然断电,当班组长首先保持冷静, 做出正确指挥 1.班组长工作内容: 发生断电后立即前往一楼开启备用电源(指定熟悉备用电源 的员工),在备用电源也无电时,立即启动柴油发电机,启 动后观察发电机电压380V稳定后,合上送电开关。保证冷 却水的正常供应。 送水后指导辅助工协同操作工注意各炉台水压变化,水压在 2.5-3.0,如有异常及时上报班长及相关部门。 在一楼送电的同时,组织现场抢救工作,各炉台操作工处理 好自己的炉台,检查是否处理得当。 等待来电的同时安排好岗位工作,操作看好炉内变化记录结 晶时间。
停电时采取的措施:
若炉子工作时,加热部分停电:
1、在控制面板上点击工序重置【此时 UPS自动供电给 籽晶马达,坩埚马达。在自动状态下(在引晶之后):180S之 后,籽晶自动上升100mm,坩埚自动下降50mm。但是在 180S之内退出自动或在手动状态下则不会有以上动作。】 使其转换为手动状态,关闭所有转动开关,降低埚位50mm左 右,,使晶体脱离液面.加热电源转换为功率控制,然后将功率 调整至零。 2、如果断电时间较短,液面未结晶或已结晶且小于4分 钟则重启加热电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面 如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理,如果大 于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引晶等工作。
控制电源断电的处理方法:
1、控制电源断电; 在控制面板上点击工序重置,使其转换为手动状态, 降埚位50mm左右,使晶体脱离液面. 2、如果控制电源无法恢复供电, 当不能及时恢复通电时,则必须关闭 加热器,关闭S/L、S/R 、C/L、C/R,提升晶棒脱离液面,升高坩埚 位置(液面结晶后半小时顶起热屏),充氩气至常压自然冷却。 3、控制电源恢复供电, 液面未结晶或已结晶且小于4分钟则重启加热 电源,将功率慢慢的升至熔料功率融化结晶面,打开S/L、S/R 、C/L、 C/R,在打开S/R晶转 和C/R埚转之前确保S/R 和C/R电位器处于零位。 如果我们等径长度大于规定的长度则按照一段标准取出,然后在进行引 晶等工作, 如果晶体长度小于我们规定的长度,则进行回熔处理
三.来电后班组长现场指挥工作:
a.电源恢复时,立即开真空泵,待半分钟后开抽空阀门,将氩气流量恢 复正常。 b.若时间较短(液面未结晶或液面已结晶但小于10 分钟且石英坩埚 未破),按加热 功率开,将功率升至熔料功率。 c.若时间较短(液面未结晶或液面已结晶但小于10 分钟且石英坩埚 未破),按加热 功率开,将功率升至熔料功率。 d.熔化结晶面,在此期间应密切注意硅料液面熔化情况,一旦发生硅 液面下降,立即停炉并上报管理人员。 e.晶体处理同晶变单晶一致,待结晶全熔后,手动调节功率为引晶功 率,温度稳定后,开始引晶作业。 f.若停电时间较长(液面结晶已经大于10 分钟或石英坩埚破裂),快 速提升晶体或 籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。 g.在熔体结晶40分钟时,快速提升坩埚,使坩埚顶起导流筒 100mm(埚内原料不足30kg不必顶起)。停炉,充分冷却后拆炉。
重点提示:如若显示电脑控制面板和加
热部分电源一起出现断电,操作员工应 该头脑冷静,必须在2分钟内关闭炉台 下部氩气球阀,防止炉台副室门自动冲 开,引起重大事故。
漏硅的应急处理:
1.立即关闭功率。 2.退出控制柜面板上单晶生长控制器,使其处于手动状态。 3.关闭埚转。 4.快速提升晶体或籽晶,使晶体或籽晶脱离液面150mm。 5.在熔体结晶40分钟时,如有可能,快速提升坩埚,使坩 埚顶起导流筒100mm。 6. 关闭真空泵抽气蝶阀,防止硅液进入管道,开启副室球 阀进行抽空,等液面结晶后再开启主室蝶阀,关闭副室蝶阀。 7. 检查各处电线是否紧靠着受热抽空管道,防止引起电线明 火。 8.停炉,充分冷却后拆炉。
重点提示:做好前几步后,氩气充到常压
的一半左右,使其自然冷却,处理完成后去 炉台下观察坩埚轴波纹管是否破裂漏硅,真 空管道、波纹管边上是否有电线紧挨住,有 无起火等安全隐患,其它地方也要仔细观察, 如有异常及时做出处理。
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